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第三代半导体关键材料与制备工艺技术研讨会
时间:2025-09-11
地点:14号馆馆内会议室
语言:中文

主办单位:

中国国际光电博览会(CIOE中国光博会)

集成电路创新联盟


承办单位:

深圳市中新材会展有限公司

爱集微咨询(厦门)有限公司

以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的关键材料,其性能优劣直接影响半导体器件的可靠性与应用效能。然而,当前第三代半导体材料生长速率慢、缺陷密度高,且制备工艺复杂,存在外延层均匀性差、掺杂控制难等问题,限制了产业规模化发展,亟需通过技术创新突破瓶颈。

本次会议邀请行业顶尖专家、科研学者与企业技术骨干,聚焦第三代半导体材料的晶体生长、外延制备、掺杂工艺等核心议题展开深入探讨。研讨会上,将分享大尺寸高质量衬底制备、先进外延技术等前沿成果,剖析工艺优化路径,共同探索材料性能提升与成本降低的解决方案,旨在加速技术成果转化,推动第三代半导体关键材料与制备工艺的创新发展,助力产业迈向新高度。

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