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第三代半导体关键材料与制备工艺协同创新论坛
时间:2025-09-11
地点:14号馆馆内会议室
语言:中文

主办单位:

SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展     



承办单位:

深圳市中新材会展有限公司

爱集微(上海)科技有限公司

以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的关键材料,其性能优劣直接影响半导体器件的可靠性与应用效能。然而,当前第三代半导体材料生长速率慢、缺陷密度高,且制备工艺复杂,存在外延层均匀性差、掺杂控制难等问题,限制了产业规模化发展,亟需通过技术创新突破瓶颈。

本次会议邀请行业顶尖专家、科研学者与企业技术骨干,聚焦第三代半导体材料的晶体生长、外延制备、掺杂工艺等核心议题展开深入探讨。研讨会上,将分享大尺寸高质量衬底制备、先进外延技术等前沿成果,剖析工艺优化路径,共同探索材料性能提升与成本降低的解决方案,旨在加速技术成果转化,推动第三代半导体关键材料与制备工艺的创新发展,助力产业迈向新高度。

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大会议程

第三代半导体关键材料与制备工艺协同创新论坛
时间演讲题目演讲嘉宾
10:00-10:05会议开场主持人:赵前程 南方科技大学 助理教授
10:05-10:25碳化硅衬底+外延一体化生产优势杨占伟 深圳市重投天科半导体有限公司 经理
10:25-10:45大直径高质量外延技术研究进展张国良 河北普兴电子科技股份有限公司 市场总监
10:45-11:05SiC衬底位错无损检测技术助力晶圆良率预测与产业链降本增效陈俞忠 大连创锐光谱科技有限公司 总经理
11:05-11:25科友半导体大尺寸低成本SiC产业化技术研发进展赵丽丽 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 董事长/总经理
11:25-11:45碳化硅材料技术、产业化发展情况及展望李斌 山西烁科晶体有限公司 总经理
11:45-12:05绝缘体上磷化镓非线性集成光子器件 赵前程 南方科技大学 助理教授
*具体议程以现场为准

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