近年来,随着我国真空技术应用领域的不断扩大,各类真空获得设备发展十分迅速。为满足各行业客户对产品集成化、智能化、便捷性的应用需求。昱驰真空不断创新，进行产品技术的革新，产品广泛应用于半导体、光学镀膜、真空玻璃、锂电、光伏、面板等多种高端制造中。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，因此对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。

昱驰真空在研发、产业化工程研究及实施方面具有丰富经验，凭借在真空领域多年深入耕耘，补强了国产真空零部件领域的研发生产空白。并加强行业领域的产学研合作联盟，与国内科研院所开展技术合作的丰富经验。分子泵具有广泛应用场景在半导体工业的推动下，分子泵在光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备市场拓展加速。

跨行业赋能价值，为半导体、光学等洁净生产提供零污染保障，助力新能源、航天等特殊场景突破环境限制，支撑大科学装置实现前所未有的真空基准这些技术共性正推动着从微电子到量子科技等前沿领域的工艺革新，用持续进化的真空解决方案，为产业升级提供基础性的环境保障，让极端条件下的精密制造成为可能。

企业简介

合肥昱驰真空技术有限公司是一家致力于将国家科技部重大仪器仪表专项“超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵”科技成果进行转化的高科技企业。公司自主创新研制了具有自主知识产权的超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵，实现了磁悬浮超高真空分子泵产品的产业化生产，最终摆脱高端分子泵依赖国进口的现状，解决了磁悬浮复合分子泵这关键部件对我国半导体产业的卡脖子问题。

目前已经引入大唐电信（600198.SH）、华润微（688396.SH）、长江创新（000783.SZ）、龙芯中科（688047.SH）、国投创业、季华璀璨投资、飞图创投等产业投资人的战略投资并正式进军半导体产业。

公司的全资子公司北京四海祥云流体科技有限公司是研发生产高真空分子泵的专业厂家，为双高新企业(国家高新技术企业和中关村高新技术企业)。在真空产品(包括传统轴承的分子泵)的研发生产方面积累了雄厚的技术经验，而且目前已实现了机械轴承式分子泵的量产和市场推广，同时实现磁悬浮分子泵产品小批量产。

凭借深厚的技术储备，公司团队在2005年研制出首台整体转子复合分子泵，2010年研制出FFD可任意角度安装复合分子泵，2012年参与国家重大仪器专项“开发大抽速磁悬浮分子泵”，2013年研制出国际首台MDP抗大气冲击复合分子泵，2016年研制出国内首台400口径磁悬浮分子泵，2018年推出国内首台400口径任意角度安装复合分子泵，2020—2021年首台产业化磁悬浮分子泵工程样机应用于半导体产业，2022—2023年，批量推出性能对标国外磁悬浮分子泵的系列化产品。

9月10-12日，合肥昱驰真空技术有限公司将在SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展与大家面对面交流，展位号：16J43