三河同飞制冷股份有限公司
三河同飞制冷股份有限公司（股票简称“同飞股份”，股票代码：300990）成立于2001年，总部位于河北三河经济开发区，华北总部研发生产基地占地约22万平方米，公司聚焦工业温控技术创新和专业化发展，是国内专业的工业温控综合解决方案服务商。在德国、新加坡分别设有全资子公司，在泰国建有生产基地。公司荣获工信部绿色工厂、全国工业和信息化系统先进集体、河北省科技领军企业等荣誉。
同飞股份作为半导体加工领域的重要配套企业，在温控设备的研发、生产与应用方面取得了令人瞩目的成就。公司凭借深厚的技术积累与创新能力，成功推出了（变频）水冷机、（变频）氟化液冷却机、多合一冷却机、恒温恒湿空调等一系列高性能温控产品解决方案，广泛应用于半导体产业的关键设备，如单晶炉、晶圆成型设备、抛光机、光刻机、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备等，为这些设备的稳定运行提供了精准、可靠的温度控制。
从晶体生长的初始阶段，到切片、清洗、光刻、刻蚀、封装等复杂工艺环节，同飞股份致力于为芯片制程全场景提供可靠的温控设备及解决方案，保障半导体生产过程的高效与稳定。
展品推介
氟化液冷却机
产品简介：本产品专为刻蚀工艺设计，核心性能与结构特点如下：
高精度温控：搭载变频压缩机，温度稳定性可精准控制在 ±0.1℃，且温度调节范围广泛，覆盖 - 30～90℃，能充分适配刻蚀工艺中不同环节的温控需求。
便捷操作与监测：配备液晶操作面板，可直观显示温度、压力、流量等关键参数，故障信息清晰易懂，操作便捷高效，可记录温度、流量等数据，自动形成历史数据曲线，便于追溯设备运行状态，提前发现问题。
智能联动功能：配备 RS485、Analog、Ether net等接口（通讯可定制），可匹配主流主机台TEL、LAM、AMAT等，实现主机台与Chiller联动运行。
安全与实用设计：集成漏电保护、变频恒流恒压供水、接水盘及漏液检测、过滤等多重功能，保障设备安全稳定运行；整体结构紧凑，节省安装空间。
恒温恒湿工业空调
产品简介：本设备专为匀胶显影工艺设计，核心性能与配置如下：
精准环境控制：温湿度控制范围分别为 18~26℃、40~55% RH，采用 PID 控制技术，精度可达 ±0.1℃、±0.5% RH，为工艺提供稳定的环境基础。
智能操作与互联：配备人机交互界面，操作便捷高效，支持温湿度曲线查询；具备 TCP/IP 通信功能，可与上位机实现实时数据交互，便于集中监控与管理。
安全与实用设计：集成集水盘与漏液报警功能，及时预警潜在风险；标配废液泵、废液箱及液位传感器，液位状态实时可见，保障废液处理安全有序。
工艺适配优化：搭载变频风机，风量可灵活调节；设备内部风道回路均采用 SUS316 材质，有效避免尘埃粒子产生，满足高洁净度工艺要求。
水冷却机
产品简介：本产品专为 CVD 工艺设计，核心性能与配置如下：
高精度温控：温度控制范围宽达 20～90℃，稳定性可达 ±0.1℃，为 CVD 工艺提供精准可靠的温度环境。
便捷操作与监测：配备液晶操作面板，可直观显示温度、压力、流量等关键参数，故障信息清晰易懂，操作高效便捷。
智能联动功能：标配 RS485、Analog、Device net 等接口（通讯方式可定制），可匹配主流主机台 LAM、AMAT 等，实现与主机台的联动运行。
安全与实用设计：集成漏电保护、变频恒流恒压供水、接水盘及漏液检测、过滤等多重功能，保障设备长期安全稳定运行；整体结构紧凑，集成化程度高，节省安装空间。
多合一冷却机
产品简介：本产品专为晶圆减薄、研磨、磨削、划切工艺设计，核心性能与配置如下：
高精度温控：温度稳定性可达 ±0.5℃，为晶圆减薄过程提供稳定的冷却环境，保障工艺精度。
便捷操作与监测：配备液晶操作面板，操作简单直观，可实时显示温度、压力、流量等关键参数，故障信息清晰易懂，便于快速排查。
智能联动功能：标配 RS485、Analog等接口（通讯方式可定制），实现与主机台的联动运行。
安全与实用设计：可选配漏电保护、自动补水、变频供水、接水盘及漏液检测、过滤和去离子等功能，适配不同场景的工艺需求；整体结构紧凑、节省安装空间。
